美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用
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超高純電子氣體提純/除雜/純化原理與制備方法、特定元素控制技術(shù)及全流程工藝優(yōu)化集成技術(shù)，研制開發(fā)微納電子制造用氯氣、氯化氫、氟化氫等超高純電子氣體，突破5N氣體制備技術(shù)及關(guān)鍵裝備技術(shù)、ppm氣體雜質(zhì)和ppb金屬離子檢測技術(shù)、生產(chǎn)環(huán)境和顆?？刂萍夹g(shù)以及產(chǎn)品包裝與應(yīng)用技術(shù)。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用
考核指標(biāo)：超高純氣體氯氣、氯化氫純度5N～7N，其中單種氣體雜質(zhì)（如H2O、O2、CO2、CO、CH4）＜1.0 ppmv，單種金屬雜質(zhì)（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw；超高純氣體氟化氫純度不低于5N，其中單種金屬雜質(zhì)（如Al、Cr、Cd、Cu）＜1.0 ppbw。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用
在超純氣中的微量水一般會是ppb別的，采用美國Tiger Optics公司的微量水分析儀是測量超純氣體微量水的里想微量水分析儀。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用
美國Tigeroptics MTO/ HALO/HALO+系列產(chǎn)品是全球zui先進(jìn)技術(shù)光腔震蕩衰減技術(shù)*產(chǎn)品。微秒反應(yīng)，zui低檢測限0.2ppbv，無需維護(hù)。在HCL、NH3等特殊氣體 及各常規(guī)氣體中的水分含量、氧分含量檢測中有廣泛應(yīng)用。全球國家標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室指定水分儀。美國Tiger Optics微量水分析儀在超純電子氣行業(yè)的應(yīng)用
光腔衰蕩光譜法已經(jīng)被定為國家標(biāo)準(zhǔn)
CRDS水分測試法已經(jīng)被定為國家標(biāo)準(zhǔn)
TIGEROPTICS水分儀國標(biāo)號GB/T 5832.3-2011
CRDS已經(jīng)被定為國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 5832.3-2011
TIGEROPTICS水分儀已經(jīng)被定為國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 5832.3-2011
TIGEROPTICS水分儀已經(jīng)被定為國家標(biāo)準(zhǔn)
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