Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
tigeroptics HALO KA微量水分分析儀小巧、實(shí)惠、功能強(qiáng)大，為您帶來:
在一系列氣體中檢測濕度的萬億分之一(ppt)
體積小
**測量(無需校準(zhǔn))
成本低，操作容易Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
廣泛的動(dòng)態(tài)范圍-超過4個(gè)數(shù)量級(jí)
包括:速度+性能升級(jí)智能動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)處理提高了分析儀的響應(yīng)速度，同時(shí)保持了低噪聲性能.
tigeroptics HALO KA微量水分分析儀技術(shù)參數(shù)
操作范圍 請參閱圖片
*低測量極限 請參閱圖片
靈敏度（σ） ±0.75% or 1/3 of LDL
精度（取大值） ±4% or LDLTigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
響應(yīng)速度 ＜3分鐘 to 95%
環(huán)境要求 10℃-40℃ , 30℃-80% RH（non-cond）
儲(chǔ)存溫度 -10℃--50℃
內(nèi)部管路材料 316L不銹鋼（選配:哈氏合金Hastelloy）10Ra表面光潔度
氣體接口 1/4“ male VCR入口和出口Tigeroptics HALO KA微量水分分析儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
泄露測試 1×10-9 mbar 1/sec
入口氣體壓力 10-125psig(1.7-9.6bar)
流量 0.05--1.8slpm
樣品氣體 惰性氣體、有毒氣體、活潑或腐蝕性氣體
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