半導體制造業(yè)常用高純氣體MEECO微量水分析儀DF310E微量氧分析儀測量
在半導體制造業(yè)中，單位ppb范圍內的散裝氣體水分規(guī)格是標準。水分會導致顆粒形成，并可能導致對設備產量產生不利影響的缺陷。因此，在極低水平下檢測水分的能力至關重要。PPB級別的微量氧分析儀也已經成為行業(yè)標配
半導體制造業(yè)所使用的不同特種氣體大致可以分為五大類：另外，半導體材料與制造很靠上游的氣體，這些年正受到下游數(shù)字化技術的推進——這就讓垂直行業(yè)上的每個點都在相互作用。前不久我們參觀了林德東亞區(qū)的遠程控制中心（ROC）。林德是一家專門從事工業(yè)氣體業(yè)務，發(fā)端自德國的企業(yè)；公司的歷史，已經超過百年。林德的業(yè)務實際上不止是電子和半導體，但就半導體、顯示面板而言，林德屬于行業(yè)相當上游的存在：臺積電、京東方、三星、長江存儲等都是林德的下游客戶。
常用高純氣體分類半導體制造業(yè)常用高純氣體MEECO微量水分析儀DF310E微量氧分析儀測量
(5)易燃性氣體：自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當環(huán)境溫度達到一定情況下，PH3與B2H6等氣體也會產生自燃?？扇家兹細怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體引起爆炸燃燒危險性就越高，如B2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃氣體有H2、NH3、PH，、DCS、CIF3等等。
MEECO微量水分析有很多型號，不做詳細介紹可以咨詢我們技術工程師
DF-310E微量氧分析儀測試范圍0-10ppm,
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