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Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析儀在電子氣半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析儀在電子氣半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用


在半導(dǎo)體行業(yè)，對微量氧含量有著嚴(yán)格的要求。如果高純氮?dú)庵械奈⒘垦醭瑯?biāo)，會(huì)造成產(chǎn)品污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此必須嚴(yán)格控制高純氮?dú)庵械难鹾?。在半?dǎo)體工業(yè)中，為什么要用高純氮?dú)饽兀?

1.高純氮在電子工業(yè)中的應(yīng)用電子氣是集成電路、光電子和微電子制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)支撐源材料，特別是VLSI、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料，其中高純氮具有諸多優(yōu)點(diǎn)。
2.由于電子行業(yè)在生產(chǎn)過程中也會(huì)對環(huán)境造成一定的影響和破壞，電子行業(yè)迫切需要轉(zhuǎn)型升級。在改進(jìn)生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)上，將對環(huán)境的影響降低到zui。電子工業(yè)氮?dú)獾募兌缺仨毐３衷?9.999%以上，才能滿足電子工業(yè)的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析儀在電子氣半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
3.將高純氮?dú)鈶?yīng)用于電子生產(chǎn)，不僅可以避免高溫造成的材料浪費(fèi)，還可以提高生產(chǎn)效率，保證零件的精度，延長零件的使用壽命。
高純氮?dú)庠陔娮庸I(yè)中的主要應(yīng)用
1.在半導(dǎo)體和集成電路的制造生產(chǎn)過程中，需要高純度的氮?dú)鈦肀Ｗo(hù)和清潔氣氛，以保證半導(dǎo)體和集成電路的質(zhì)量；
2.在半導(dǎo)體電池、電子合金材料等行業(yè)，高純氮用于電子產(chǎn)品的封裝、燒結(jié)、退火、還原和儲(chǔ)存。
3.在大規(guī)模集成電路、彩色電視顯像管、液晶和半導(dǎo)體元件的處理中，高純氮被用作非常重要的氮源。高純氮在單晶硅、多晶硅和一些外延行業(yè)的應(yīng)用，不僅可以提高生產(chǎn)效率，還可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量。
4.在電子行業(yè)磁性材料行業(yè)的成型中，需要經(jīng)過噴砂、除水等步驟后放入充滿高純氮?dú)獾牡獨(dú)馐抑小＜訜嵋?guī)定時(shí)間后，重復(fù)上述步驟，然后放入冷卻通道中保護(hù)氮?dú)馐?。待溫度冷卻至中溫后，放入中溫冷卻室，直至完全冷卻，即可輸出功。
Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析儀在電子氣半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

使用Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析儀測試半導(dǎo)體行業(yè)的微量氧含量已經(jīng)形成了一定的認(rèn)知。

DF31E專門設(shè)計(jì)用于工業(yè)氣體應(yīng)用中的**樣氣測量。它是下一代數(shù)字氧分析儀，集成了**的微量氧測量、新的圖標(biāo)菜單導(dǎo)航用戶界面(GUI)和先進(jìn)的數(shù)字通信。
參數(shù):
**度:標(biāo)準(zhǔn)配置:**度
靈敏度:zui可檢測的變化為3ppb，即ZD檢測線為3ppb(310E-H0050M)。
響應(yīng)時(shí)間:
測量范圍:zui小0-0.5ppm，zui大0-25%。
工作溫度:0-45℃
背景氣體:基本傳感器:被測背景氣體可包括惰性氣體和惰性氣體，如N2、H2、一氧化碳、氟利昂、碳?xì)浠衔锏取?br /> Stab-EL傳感器選項(xiàng):可中和微量酸性污染物，如CO2、H2S、Cl2、NOx、SOx等。

特點(diǎn):
**觸摸屏GUI界面，設(shè)置和操作直觀簡單。Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析儀在電子氣半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
兼容DF-310E平臺(tái)的接線輸入和氣體接口。
順磁傳感器，可測量100%的樣氣。
可選的AquaXact氧化鋁傳感器可以同時(shí)監(jiān)測O2和H2O。
支持?jǐn)?shù)字通信，如RS232、RS485、Modbus、PROFIBUS和以太網(wǎng)Modbus TCP/IP。

應(yīng)用領(lǐng)域:
空氣分離裝置
醫(yī)用/工業(yè)氣體
特殊氣體分布

產(chǎn)品優(yōu)勢
DF31E專門設(shè)計(jì)用于工業(yè)氣體應(yīng)用中的**樣氣測量。它是下一代數(shù)字氧分析儀，集成了**的微量氧測量、新的圖標(biāo)菜單導(dǎo)航用戶界面(GUI)和先進(jìn)的數(shù)字通信。
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