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GREYLINE多普勒超聲波流量計超聲波液位變送器面積速度流量計Pulsar格萊液位計接總代理代表處業(yè)務(wù)

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瑞典EasyLaser激光對中儀測振儀公司介紹接總代理代表處業(yè)務(wù)

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美國Malema超聲波流量計質(zhì)量流量計渦街流量計接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國Ludlum輻射檢測儀輻射測量儀便攜式中子劑量率測量儀接總代理代表處辦事處分公司業(yè)務(wù)

德國Esders公司介紹乙烷分析儀燃?xì)庑孤﹥x接總代理辦事處代表處業(yè)務(wù)

美國HI-Q公司介紹便攜式空氣取樣器輻射監(jiān)測系統(tǒng)流量校準(zhǔn)器放射性碘采樣盒接總代理代表處辦事處分公司業(yè)務(wù)

Maxcess卷材控制糾偏控制器導(dǎo)向輥式糾偏裝置接總代理代表處業(yè)務(wù)

奧地利Baur公司介紹絕緣油耐壓測試儀電纜局部放電帶電檢測儀電纜故障定位儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國Migatron超聲波傳感器液位開關(guān)液位傳感器液位計超聲波探測儀公司介紹接總代理代表處業(yè)務(wù)

德國EMTEC動態(tài)過濾分析儀組織柔軟度分析儀熱收縮分析儀表面施膠及特性分析儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

日本KRK造紙儀器制漿儀器耐折度儀流變儀粗糙度儀高濃盤磨機(jī)旋轉(zhuǎn)蒸煮器接總代理代表處業(yè)務(wù)

德國AFG動態(tài)濾水儀顆粒電荷儀Zeta電位分析儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

法國PTA造紙儀器白度儀厚度儀層間結(jié)合強(qiáng)度儀本特森粗糙度儀紙頁成型器打漿度儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

德國SUMET-Messtechnik實(shí)驗(yàn)室壓光機(jī)涂布機(jī)快速水分儀雙面施膠機(jī)接總代理代表處業(yè)務(wù)公司介紹

美國GE公司超聲波探傷儀USMGO+渦流探傷儀超聲波測厚儀汽車電焊儀超聲波水槽檢測儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國UE System公司介紹超聲波撿漏儀ULTRAPROBE超聲波檢測儀系統(tǒng)接總代理代表處辦事處業(yè)務(wù)

ECOTECH儀器公司介紹二氧化碳分析儀濁度儀氨分析儀二氧化硫臭氧分析儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

加拿大Tyne便攜式氚測量儀|氚呼吸檢測器Model 7001測氚儀|Tyne便攜式氚測試儀接總代理辦事處業(yè)務(wù)

德國Coesfeld科斯菲爾德熱變形維卡試驗(yàn)機(jī)落鏢沖擊試驗(yàn)機(jī)熔融指數(shù)儀擺錘沖擊試驗(yàn)機(jī)接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國Lighthouse空氣微粒計數(shù)器浮游菌采樣器液體微粒計數(shù)器手持粒子計數(shù)器接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國Megger微歐計接地電阻測試儀絕緣電阻測試儀電能質(zhì)量分析儀便攜式絕緣油測試儀

德國Sigma離心機(jī)西格瑪冷凍離心機(jī) Sigma實(shí)驗(yàn)室高速離心機(jī)接總代理代表處業(yè)務(wù)

德國CS德諾仕露點(diǎn)儀CS測漏儀氣體流量計便攜式露點(diǎn)儀壓力變送器接代表處總代理業(yè)務(wù)

美國熱電Thermo Fisher賽默飛世爾分析儀器薄膜在線厚度儀熱電薄膜片材在線測厚儀

Select BioProducts移液器SBP離心機(jī)梯度PCR電泳系統(tǒng)水浴鍋培養(yǎng)箱接總代理代表處業(yè)務(wù)

英國SDMT局放儀局部放電帶電檢測與定位儀埃登威接總代理代表處辦事處業(yè)務(wù)

美國GE超聲波探傷儀

美國MoistTech水分儀在線水分分析儀近紅外水分析儀接代表處總代理業(yè)務(wù)

瑞士MBW冷鏡露點(diǎn)儀鏡面露點(diǎn)儀MBW露點(diǎn)儀

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德國AIRSENSE惡臭監(jiān)測儀電子鼻接代表處總代理業(yè)務(wù)

德國METREL接地電阻測試儀承接總代理代表處辦事處業(yè)務(wù)

美國Particles Plus粒子計數(shù)器接代表處總代理辦事處業(yè)務(wù)

美國2B臭氧儀臭氧檢測儀臭氧分析儀臭氧校準(zhǔn)器臭氧發(fā)生器接總代理代表處辦事處維修中心業(yè)務(wù)

瑞士Textest透氣度儀器接總代理代表處業(yè)務(wù)

HEINRICHS流量計埃登威接代表處總代理業(yè)務(wù)

OPTEK濁度儀色度儀電導(dǎo)率儀紫外傳感器接總代理辦事處業(yè)務(wù)

羅斯蒙特氣體分析儀壓力變送器手操器維修中心埃登威接總代理業(yè)務(wù)

德國BMT臭氧儀高濃度臭氧分析儀臭氧檢測儀接總代理代表處辦事處維修檢測校準(zhǔn)業(yè)務(wù)

美國Guardian手套埃登威接總代理代表處業(yè)務(wù)

Teledyne API臭氧儀二氧化硫分析儀CO分析儀二氧化碳分析儀臭氧濃度分析儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國Piercan皮爾康手套埃登威接總代理代表處皮爾坎業(yè)務(wù)

德國UV-Technik能量計埃登威接總代理辦事處業(yè)務(wù)

奧德姆/安姆特OLDHAM氣體分析儀氣體報警儀氣體檢測儀埃登威接總代理代表處業(yè)務(wù)

日立牛津熒光光譜儀接總代理代表處售后維修校準(zhǔn)業(yè)務(wù)埃登威

意大利RASOR裁剪刀埃登威接總代理代表處業(yè)務(wù)

德國MOVISTROB品牌BBE公司頻閃儀埃登威接總代理代表處業(yè)務(wù)

美國Unilux頻閃儀埃登威接總代理代表處業(yè)務(wù)

意大利ZENtex尼龍鋼芯吊帶埃登威接總代理代表處業(yè)務(wù)

以色列埃尓弗OFIL紫外成像儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

英國仕富梅儀器Servomex氣體分析儀氧分析儀接總代理維修校準(zhǔn)服務(wù)中心業(yè)務(wù)

德國RHEONIK質(zhì)量流量計接總代理辦事處代表處業(yè)務(wù)

德國Bartec巴泰克微量水分析儀伴熱帶烴露點(diǎn)儀接總代理代表處辦事處業(yè)務(wù)

德國Zirox氧分析儀氧化鋯氧分析儀埃登威奇洛克斯氧量分析儀氧氣分析儀痕量氧分析儀接總代理代表處業(yè)務(wù)

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維薩拉vaisala露點(diǎn)儀143和DM70露點(diǎn)儀露點(diǎn)變送器DMT242接總代理代表處業(yè)務(wù)

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ADEV在線氧含量分析儀：煤氣化裝置安全高效運(yùn)行的智慧守護(hù)者

ADEV氧含量分析儀：丙烯酸化工裝置安全生產(chǎn)的智慧守護(hù)者深度解析

安全監(jiān)控：ADEV氧含量分析儀在STD工藝煤調(diào)濕系統(tǒng)中的應(yīng)用方案

護(hù)航乙烯裂解爐：ADEV氧含量分析儀的應(yīng)用與日常維護(hù)之道

ADEV氧含量分析儀：玻璃纖維窯爐的綠色高效引擎

ADEV氧化鋯分析儀在鋼鐵企業(yè)加熱爐中的實(shí)際應(yīng)用

ADEV激光氧氣分析儀在某大型化肥生產(chǎn)企業(yè)的深度應(yīng)用與實(shí)踐

ADEV激光氧分析儀在苯酚丙酮裝置中的深度應(yīng)用與優(yōu)勢解析

ADEV氧含量分析儀在煉油管式加熱爐高效燃燒控制中的關(guān)鍵應(yīng)用
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電子半導(dǎo)體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

電子半導(dǎo)體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀

在工業(yè)上，常溫常壓下為氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。根據(jù)制備方法和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，工業(yè)氣體可分為散裝氣體和特種氣體。散裝氣體主要包括氧氣、氮?dú)?、氬氣等空氣分離氣體和乙炔、二氧化碳等合成氣體。特種氣體主要包括電子氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體。

特種電子氣體(electronic special gas)是一種高科技、高附加值產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè)。電子專用氣體主要包括氫化物、氟化物、氟烷、金屬有機(jī)化合物等。它是生產(chǎn)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)不可缺少的重要材料。廣泛應(yīng)用于集成電路和顯示面板生產(chǎn)中的薄膜制造、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子半導(dǎo)體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀

特種電子氣體的質(zhì)量主要取決于其純度和純度。一般來說，電子專用氣的純度要求達(dá)到5N-6N(N指純度百分比中9的個數(shù)，例如5.7N表示99.9997%，6N表示99.999%)。同時要求將金屬元素提純到10-9到10-12。純度每增加N，顆粒和金屬雜質(zhì)濃度每減少一個數(shù)量級，都會導(dǎo)致工藝復(fù)雜性和難度顯著增加。電子專用氣體一旦純度或純度不達(dá)標(biāo)，輕則下游產(chǎn)品質(zhì)量不過關(guān)，重則污染整條產(chǎn)品線，導(dǎo)致產(chǎn)品全部報廢。
電子氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體的各種工藝中:芯片制造主要包括清洗、沉積/CVD、光刻、刻蝕、離子注入、成膜等工藝。從單個芯片的產(chǎn)生到*終器件的封裝，幾乎每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣，因此電子氣被稱為半導(dǎo)體制造的“食物”和“血液”。

電子氣對半導(dǎo)體器件的性能起著決定性的作用:在微電子和光電器件的生產(chǎn)過程中，電子氣在很大程度上決定了半導(dǎo)體器件的性能。電子純度每提高一個數(shù)量級，都會極大地促進(jìn)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。電子半導(dǎo)體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀

1.半導(dǎo)體制造用特殊電子氣體的類型

在半導(dǎo)體行業(yè)中，常用的特種氣體有100多種，其中集成電路制造中的硅片制造、氧化、光刻、氣相沉積、刻蝕、離子注入等核心工藝環(huán)節(jié)需要的特種氣體約有50種。我們可以從下圖的例子中看到芯片制造各個過程中需要的電子氣體(藍(lán)框中需要的電子氣體種類)。
2.半導(dǎo)體制造電子專用氣體等級

電子特種氣體是半導(dǎo)體制造成本中僅次于硅片的**大材料，其次是掩膜和光刻膠。
3.電子特種氣體在半導(dǎo)體制造工藝中的應(yīng)用實(shí)例

(1)蝕刻

蝕刻是通過化學(xué)和物理方法從硅片表面選擇性去除不想要的材料的過程。蝕刻的目的是將掩模圖案正確地復(fù)制到膠合的硅晶片上。蝕刻方法包括濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法化學(xué)刻蝕是利用低壓放電產(chǎn)生的等離子體中的離子或自由基與材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，通過轟擊等物理效應(yīng)達(dá)到刻蝕的目的。主要介質(zhì)是氣體。
(2)摻雜

在半導(dǎo)體器件和集成電路的制造中，向半導(dǎo)體材料中摻雜一些雜質(zhì)，使材料具有所需的導(dǎo)電類型和一定的電阻率，從而制造電阻、PN結(jié)、埋層等。摻雜過程中使用的氣體稱為摻雜氣體。包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。通常，摻雜源和載氣(如氬氣和氮?dú)?在源柜中混合。將混合氣流連續(xù)注入擴(kuò)散爐并包圍晶片，摻雜劑沉積在晶片表面，然后與硅反應(yīng)生成摻雜金屬并遷移到硅中。

電子半導(dǎo)體材料特氣中微量氧微量水含量用AII GPR-1600UHP ppb微量氧分析儀

Aii gpr-1600系列超高壓PPB氧分析儀
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GPR-1600系列PPM氧氣分析儀
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