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ADEV氬氣微量氧分析儀選擇及應用|埃登威自動化系統(tǒng)設備(上海)有限公司

ADEV氬氣微量氧分析儀選擇及應用

在高科技產業(yè)中,特別是半導體制造業(yè)中,氬氣作為一種重要的保護氣體,發(fā)揮著防止硅晶體在高溫下氧化的關鍵作用。然而,即使是痕量級別的氧也會對單晶硅的品質產生重大影響。因此,選擇一款可靠的氬氣微量氧分析儀對于這些行業(yè)來說至關重要。

一、選擇合適的分析儀

在選擇氬氣微量氧分析儀時,主要考慮以下幾個關鍵因素:ADEV氬氣微量氧分析儀選擇及應用

  1. 靈敏度:由于氬氣中的氧含量極低,因此需要選擇具有高靈敏度的分析儀,以便能夠準確檢測和測量微量的氧。
  2. 實時性:為了及時發(fā)現(xiàn)并解決問題,或根據(jù)實時數(shù)據(jù)調整生產過程,需要選擇能夠實時監(jiān)測氬氣中氧含量的分析儀。
  3. 可靠性:對于半導體制造等關鍵行業(yè),分析儀的可靠性是選擇的重要因素。需要選擇經(jīng)過嚴格測試和驗證的分析儀,以確保其在生產過程中的穩(wěn)定性和準確性。
  4. 維護簡便:考慮到生產環(huán)境的復雜性和可能的設備故障,選擇維護簡便的分析儀可以大大降低運營成本和時間。

二、應用案例ADEV氬氣微量氧分析儀選擇及應用

假設某半導體制造公司需要更新其氬氣微量氧分析儀。以下是其選擇新設備的考慮因素和應用方案:

  1. 設備性能:該公司需要選擇一款具有高靈敏度、實時性、可靠性和易于維護的分析儀。通過對比不同設備的性能參數(shù),以及參考其他用戶的實際應用情況,選擇了一款具有以上優(yōu)勢的分析儀。
  2. 精度要求:半導體制造對氧含量的精度要求極高,不能有絲毫差池。因此,該公司選擇了具有超高精度的分析儀,并通過其自動化功能,使測量精度始終保持在*佳狀態(tài)。ADEV氬氣微量氧分析儀選擇及應用
  3. 實時監(jiān)測:分析儀的實時監(jiān)測功能使該公司能夠及時發(fā)現(xiàn)氬氣中的氧含量異常,從而防止了可能的單晶硅質量問題。
  4. 維護簡便:分析儀的故障自動診斷功能和易于維護的設計,使得設備的維護變得簡單而高效,大大降低了運營成本。

ADEV在線微量氧分析儀和便攜式微量氧分析儀被應用于氬氣中的ppm級檢測。

綜上所述,選擇一款適合的氬氣微量氧分析儀對于半導體制造等高科技產業(yè)來說至關重要。不僅要考慮設備的靈敏度、實時性、可靠性和維護簡便,還需要結合實際生產環(huán)境和精度要求進行選擇。合適的分析儀可以幫助這些產業(yè)提高單晶硅的質量和生產效益,從而實現(xiàn)持續(xù)、穩(wěn)定的發(fā)展。

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