采用高純氣體分析檢測氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
氧化鋁電容法是高純氣體中微量水分析的其中一種方法。在潔凈環(huán)境下，溫度在15~28℃之間，濕度在40%~70%的條件下進行測量。使用死體積小、內徑小、管壁無吸附的不銹鋼管，并選用涂有一層薄金的氧化鋁薄膜作為電容器的電極。當高純氣體中的水分透過金薄層被氧化鋁吸收時，電容器的阻抗會與水汽分壓成一定的比例。通過測量電容器的介電常數(shù)變化，可以計算出水分含量。
除了氧化鋁電容法，還有其他方法可以檢測高純氣體中的水分含量。例如，可以使用壓電法。通過涂有一種吸濕性物質的石英晶體吸收不同質量的水分時振動頻率會有差異的特點，讓樣氣和標準干燥氣流經該晶體，產生不同的振動頻率差，計算兩頻率之差即可得到樣氣的濕度。這種方法屬于**測量法，穩(wěn)定、不漂移，適合在線氣體的連續(xù)測定。然而，在測試低濕度時響應慢，受氣體流量影響，不能用于腐蝕氣體的測試。
另外，還可以使用光腔衰蕩光譜法來檢測水分含量。一束單波長激光通入光腔后，光束在腔鏡之間來回反射。當切斷光源后，其能量就會隨時間而衰減，衰蕩速度與光腔自身的損耗和腔內被測組分（介質）的吸收有關。對于給定的光腔，其自身的損耗為常量。光能量衰減的速度與被測組分的含量有關。
在使用氧化鋁電容式濕度計時，需要注意以下幾點：首先，其測量范圍通常為-110℃~+20℃。當被測露點較高時，會使得氧化鋁電容式濕度計產生較大的漂移。其次，應注意溫度系數(shù)。由于其對水汽分壓產生響應因此應注意測量時氣體總壓的變化。*后，應避免灰塵、油污和測量時氣體流量較大一般為3~5（L/min）。采用高純氣體分析檢測氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
氧化鋁電容式濕度計具有較寬的響應范圍從1μL/L（ppmv）到80%RH，可以遠程安裝和現(xiàn)場使用相對穩(wěn)定響應較快、溫度系數(shù)較小、與流量變化無關等優(yōu)點。此外，對于水分有較高的選擇性可以在較寬的溫度和壓力范圍內使用日常維護量較小體積也相對較小。然而，該方法是間接測量，在高溫操作或某些氣體會引起漂移的情況下需定期校準以克服老化、滯后及污染等問題。
ADEV公司的便攜式露點儀DP4600就是采用了該方法的露點儀。
露點儀采用氧化鋁傳感器，能夠快速準確地測量氣體的露點溫度，特別適合低露點測量。它具有抗結露、防止污染等特點，納米技術改變了材料的臨界特性，可以測量低至-110℃的露點。采用高純氣體分析檢測氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
露點儀應用范圍
適用于石油、石化、天然氣、制藥、食品、半導體、工業(yè)氣體、標準氣等領域
露點儀主要特點
★ 體積小，重量輕，易于攜帶，同時可用于臺式
★ 可編程數(shù)據(jù)記錄，可導入Excel數(shù)據(jù)
★ 露點溫度曲線實時跟蹤顯示數(shù)據(jù)變化情況
★ 通用充電及數(shù)據(jù)接口，鋰電池供電，通用電源適配器
★ 可選仿真軟件在PC機上模擬儀器的操作采用高純氣體分析檢測氣體中水含量的幾種方法氧化鋁電容法原理
★ 不同溫度、壓力和濕度參數(shù)的自動換算
★ 自帶流量顯示功能，大液晶顯示屏，操作簡單
★ 免維護、壽命長：無任何消耗品，方便用戶日常維護，壽命可達10年
★ 量程寬，可以選擇-110℃到20℃多種量程組合，精度達到±2℃
★ 提供單點校準和多點校準，曲線校準功能
★ 超大容量存儲空間，可達10000條數(shù)據(jù)記錄，可手動或自動記錄，記錄間隔可任意調節(jié)
★ 多參數(shù)顯示：℃（dp）、（dp）、ppmV、ppmW、μB 水蒸氣壓力、克/每立方米、LBS等.BS等
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