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BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用

一、時(shí)代背景

在當(dāng)前時(shí)代,國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)正經(jīng)歷著****的飛速發(fā)展。隨著行業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大,半導(dǎo)體加工技術(shù)的要求也日益提高。在這個(gè)高品質(zhì)、高工藝要求的背景下,無氧烘箱技術(shù)成為了行業(yè)內(nèi)的焦點(diǎn)。特別是在半導(dǎo)體烘烤工藝中,氧濃度的準(zhǔn)確監(jiān)控對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。

二、BCB高溫?zé)o氧烘箱的應(yīng)用和特點(diǎn)BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用

BCB高溫?zé)o氧烘箱在現(xiàn)代工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,其主要應(yīng)用于航空航天、石油化工、電子通訊等科研生產(chǎn)領(lǐng)域。在半導(dǎo)體加工中,它主要用于BPO/PI/BCB固化、IC封裝、FPD制造等工藝。

其特點(diǎn)如下:

  1. 使用陶瓷纖維保溫材料,使得烤箱升溫迅速且具有良好的節(jié)能效果。
  2. 擁有一個(gè)優(yōu)良的送排風(fēng)系統(tǒng),確保工作區(qū)域溫度均勻。
  3. 采用吸風(fēng)玻璃纖維過濾器,確保工作區(qū)域的潔凈度。BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用

為確保無氧環(huán)境,烘箱在操作過程中會(huì)充入惰性氣體如氮?dú)饣蚨趸?,以去除箱?nèi)的氧氣,從而防止高溫下的氧化反應(yīng)。

三、無氧烘箱氧濃度監(jiān)控與ADEV氧氣分析儀

為確保無氧烘箱的工藝效果,準(zhǔn)確的氧濃度監(jiān)控是必不可少的。無氧烘箱配備了氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)和延時(shí)加熱功能,在加熱前自動(dòng)充入氮?dú)猓_保在加熱前工作區(qū)域已經(jīng)形成了低氧環(huán)境。此外,雙流充氮能量控制技術(shù)也受到了許多用戶的青睞。

而要實(shí)現(xiàn)上述功能,關(guān)鍵在于配備ADEV氧氣分析儀。ADEV氧氣分析儀為無氧烘箱提供了實(shí)時(shí)的氧濃度數(shù)據(jù),確保工藝過程中的氧氣濃度始終維持在設(shè)定范圍內(nèi)。這不僅提高了產(chǎn)品的質(zhì)量,還為企業(yè)節(jié)省了大量的氮?dú)赓Y源,實(shí)現(xiàn)了經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益的雙贏。

結(jié)論:BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,無氧烘箱及其相關(guān)技術(shù)將在未來扮演更加重要的角色。而ADEV氧氣分析儀作為無氧烘箱的眼睛,將為半導(dǎo)體加工提供更加**、可靠的數(shù)據(jù)支持,推動(dòng)行業(yè)向更高品質(zhì)、更高效益的方向發(fā)展。

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