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高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用|埃登威自動化系統(tǒng)設備（上海）有限公司

高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用

高純硅烷，一種在常溫常壓下表現(xiàn)為惡臭的無色氣體，因其與金屬鹵化物的激烈反應以及與L`C'1的反應，不能使用氟里昂滅火劑。其熔點為-185℃，沸點為-111.5℃。提純這種氣體的工藝通常采用低溫吸附連續(xù)液化精餾的方法。在生產(chǎn)過程中，為確保產(chǎn)品的質量和**，對氣體成分的連續(xù)監(jiān)控是至關重要的。高純硅烷在半導體生產(chǎn)中有著廣泛的應用，如用于生長高純單晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、非晶硅等化學氣相淀積工藝。此外，它還被廣泛用于非晶硅太陽能電池、硅復印機鼓、光電傳感器、光導纖維、特種玻璃等的生產(chǎn)和研制。

為確保高純硅烷的生產(chǎn)和應用過程中的安 全與效率，ADEV的OxyTrend微量氧分析儀發(fā)揮了不可或缺的作用。這是一款適用于**區(qū)域和危險區(qū)域應用的電化學氧分析儀，符合ATEX分類（1/21區(qū)）的標準。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用

OxyTrend的主要特性如下：

  • 高精度、耐用和高**性：該電化學氧氣分析儀設計精良，能夠在各種環(huán)境和應用條件下提供持續(xù)、準確的氧氣含量讀數(shù)。
  • 寬應用范圍：無論是ppm級別的微量氧氣還是百分比級別的氧氣含量，OxyTrend都能夠進行**監(jiān)測。
  • 用戶友好：其寬顯示屏和微處理器設計使得用戶可以輕松讀取數(shù)據(jù)和操作所有數(shù)字功能。菜單操作更是簡便，只需通過玻璃光學按鈕即可完成，即使在危險區(qū)域也能實現(xiàn)完整的功能。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用
  • 安裝靈活：OxyTrend防爆氧氣分析儀適用于室內和室外安裝，其電子元件封裝在鋁外殼中，而傳感器外殼為316不銹鋼，可以選擇直通式或可選的KF-40連接。
  • 高性能：其電化學電池對許多背景氣體和碳氫化合物的存在不敏感，使得該儀器適用于各種應用場景。此外，OxyTrend氧氣分析儀具有18個現(xiàn)場可設置的ppm微量或百分比范圍，并可以設置從0.01 ppm到100%FS的自由可配置范圍。

此外，OxyTrend還具有雙線、回路供電的4-20 mA變送器功能，如果使用RS485串行總線，它還可以提供四線或五線連接接口或4-20 mA+RS485。ModBus RTU主設備或從設備可以通過菜單選擇。同時，它還可以通過RS485與ADEV 8RO4DI外部模塊連接，該模塊具有8個繼電器輸出和4個數(shù)字輸入。所有這些功能都集成在一個易于使用的包中，具有用戶友好的菜單和直觀的界面。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用

傳感器技術方面，ADEV氧傳感器基于電偶電化學燃料電池原理制造，并在嚴格的質量程序下進行生產(chǎn)。這些傳感器在其整個測量范圍內提供高水平的準確性、可靠性和線性。它們是獨立的，維護需求極少，無需清潔電極或添加電解液。

總的來說，OxyTrend在高純硅烷的生產(chǎn)和應用中發(fā)揮了至關重要的作用，確保了產(chǎn)品的質量和生產(chǎn)過程的安 全。

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