電子特氣品質(zhì)及半導(dǎo)體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
在高科技產(chǎn)業(yè)中，電子特氣的品質(zhì)直接影響著產(chǎn)品的性能和可靠性。對于電子特氣的純度要求極高，一般在5N-6N之間，甚至更高。這意味著電子特氣的純度需要達(dá)到99.9997%至99.9999%，甚至更高。同時，對于金屬雜質(zhì)的凈化也要求達(dá)到10-9級至10-12級，這顯示了對于高純度氣體的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。因?yàn)橐坏╇娮犹貧獾募兌然蚴莾舳炔贿_(dá)標(biāo)，可能會導(dǎo)致下游產(chǎn)品質(zhì)量問題，甚至可能污染整條產(chǎn)品線，造成大量的產(chǎn)品報廢。電子特氣品質(zhì)及半導(dǎo)體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
然而，在許多超純氣體的應(yīng)用中，尤其是半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中的微量水分是一個關(guān)鍵的考量因素。因?yàn)闅怏w的微量水分可能對半導(dǎo)體制造過程中的各種物理和化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生影響，從而影響產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。因此，持續(xù)追蹤和測量氣體的微量水分含量是非常重要的。
盡管對于微量水分的測量一直是一個技術(shù)難點(diǎn)，但現(xiàn)在市場上出現(xiàn)了一款簡單、經(jīng)濟(jì)的解決方案：ADEV QZ360露點(diǎn)儀。這款儀器基于石英震蕩原理，能夠**測量氣體的露點(diǎn)值，測量下限低至-120°C (相當(dāng)于不到1 ppbV)。
QZ360露點(diǎn)儀變送器是ADEV儀表多年在石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，這款變送器專為超高純氣體中的微量水分測量而設(shè)計(jì)，具有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器。電子特氣品質(zhì)及半導(dǎo)體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
QZ360的使用和安裝都非常簡單，可以無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。其傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部材料達(dá)到*小的吸濕性，潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。該變送器經(jīng)過完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠方便地連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。
此外，QZ360的設(shè)計(jì)具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，確保了快速響應(yīng)速度，并保證了濕度測量時的*快響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時整個系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。對于安裝和操作來說，QZ360同樣非常簡便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。QZ360是一個兩線或三線制的變送器，提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。如果應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值，QZ360還可以提供兩種顯示方式，包括直接連接顯示器或作為QZ360的電源。電子特氣品質(zhì)及半導(dǎo)體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
總的來說，ADEV QZ360露點(diǎn)儀為超純氣體中的微量水分測量提供了一個高效、精準(zhǔn)的解決方案。這款儀器不僅滿足了各種復(fù)雜和嚴(yán)苛的應(yīng)用需求，而且其簡單、經(jīng)濟(jì)的特性使得它在市場上具有顯著的優(yōu)勢。隨著科技的不斷進(jìn)步和應(yīng)用需求的持續(xù)增長，相信這種高純度氣體測量技術(shù)將繼續(xù)發(fā)揮更大的作用，為高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支持。電子特氣品質(zhì)及半導(dǎo)體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
