電子氣純度及半導(dǎo)體Ppb微量水分析儀QZ360介紹
在半導(dǎo)體制造中，電子氣體的純度至關(guān)重要。它們是晶圓制造過程中占比**大的半導(dǎo)體耗材，被稱為晶圓的“血液”。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，2020年全球晶圓制造材料中，電子氣體占比約為13%，是占比僅次于硅片的半導(dǎo)體材料。電子特氣則是其中特種氣體的一種，它們是貫穿晶圓制造工藝流程的關(guān)鍵耗材，尤其在刻蝕和摻雜中使用占比很高。電子氣純度及半導(dǎo)體Ppb微量水分析儀QZ360介紹
然而，在許多超純氣應(yīng)用中，氣體中殘余的濕氣對過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。但現(xiàn)在，ADEV儀表推出了QZ360露點(diǎn)儀變送器，這是一款簡單、經(jīng)濟(jì)的方案，用來在線測量超高純氣體中的微量水分含量。
QZ360露點(diǎn)儀變送器基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器，專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。它不僅使用和安裝簡單，還具有各種可選型號和功能，以滿足各種特殊需求。電子氣純度及半導(dǎo)體Ppb微量水分析儀QZ360介紹
QZ360的測量下限達(dá)到驚人的-120°C露點(diǎn)（相當(dāng)于不到1 ppbV），測量穩(wěn)定性和重復(fù)性好。它采用高度集成的采樣裝置，提供模擬和數(shù)字輸出，安裝簡便，并具有VCR過程接口和緊湊小巧的設(shè)計(jì)。此外，可選的顯示單元可以輕松連接并作為QZ360的電源。
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對工藝操作的影響至關(guān)重要。根據(jù)以往的經(jīng)驗(yàn)，微量水分測量一直是一個難題，但現(xiàn)在ADEV推出了一款簡單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品，可以在線測量露點(diǎn)達(dá)-120°C（小于1ppb）。QZ360露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢在于ADEV石英震蕩傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗(yàn)和專長。結(jié)合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝，這款低成本變送器適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡單是QZ360的一大特點(diǎn)。這種獨(dú)立的變送器設(shè)計(jì)成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中，并可提供可靠的測量結(jié)果。QZ360的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部采用0.25Ra μm，以達(dá)到*小的吸濕性，潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。電子氣純度及半導(dǎo)體Ppb微量水分析儀QZ360介紹
安裝和操作簡便也是QZ360的一大優(yōu)點(diǎn)。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。QZ360是一個兩線或三線制的變送器，提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。
假如應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值，QZ360可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接，也可以作為QZ360的電源。此外，QZ360還具有測試范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點(diǎn)。
總的來說，QZ360露點(diǎn)儀變送器為電子氣體的純度和濕氣測量提供了一個高效、經(jīng)濟(jì)的解決方案，對于推動半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展具有重要意義。
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