半導(dǎo)體特氣與工業(yè)氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹
隨著科技的飛速發(fā)展,工業(yè)氣體在各領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛。其中,半導(dǎo)體特氣因其高純度要求,成為工業(yè)氣體中特殊的一類。電子特氣不僅是制造集成電路、液晶面板等的關(guān)鍵原料,其純度還直接影響著產(chǎn)品的性能和可靠性。
電子特氣的純度通常要求在5N以上,而用于晶圓制造的特氣純度要求更為嚴(yán)格,一般在6N以上。這種高純度意味著氣體中的雜質(zhì)含量必須極低,才能滿足電子特氣的純度要求。半導(dǎo)體特氣與工業(yè)氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹
然而,即使達(dá)到了這樣的純度標(biāo)準(zhǔn),氣體中的微量水也是不容忽視的問題。在許多超純氣應(yīng)用中,如半導(dǎo)體工業(yè),氣體的微量水對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,微量水的持續(xù)追蹤測量都是一個技術(shù)難題,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。
但現(xiàn)在,一款新的露點儀變送器QZ360的出現(xiàn),為這一問題提供了有效的解決方案。這款露點儀變送器是基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。半導(dǎo)體特氣與工業(yè)氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹
QZ360高純氣體露點變送器專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。其測量下限達(dá)到驚人的-120°C露點(相當(dāng)于不到1 ppbV),測量穩(wěn)定性和重復(fù)性好。而且使用和安裝都很簡單,可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號,是一款可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。
此外,QZ360的傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。該產(chǎn)品的設(shè)計具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu),確保了過程應(yīng)用中*快的響應(yīng)速度,也保證了濕度測量時的*快響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作,同時整個系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。
QZ360的安裝和操作都很簡便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為120mm,符合標(biāo)準(zhǔn)。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。而且QZ360是一個兩線或三線制的變送器,提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。假如應(yīng)用中需要顯示露點值或濕度值,QZ360還可以提供兩種顯示方式。顯示器可以很容易連接,也可以作為QZ360的電源。半導(dǎo)體特氣與工業(yè)氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹
QZ360露點儀變送器的出現(xiàn),填補(bǔ)了市場上的空白,為電子特氣的微量水檢測提供了一種簡單、經(jīng)濟(jì)的解決方案。其精準(zhǔn)的測量和可靠的性能,不僅有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能和可靠性,也為工業(yè)氣體的高純度應(yīng)用提供了新的技術(shù)支持。隨著科技的不斷發(fā)展,我們有理由相信,未來會有更多**的產(chǎn)品和服務(wù)涌現(xiàn)出來,推動工業(yè)氣體在各領(lǐng)域的應(yīng)用邁向新的高度。半導(dǎo)體特氣與工業(yè)氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹