BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀
在當(dāng)今的半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,烘箱工藝的品質(zhì)要求日益嚴(yán)格。隨著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,對(duì)于烘箱工藝的氧濃度監(jiān)控變得尤為重要。在這樣的大背景下,BCB高溫?zé)o氧烘箱與相應(yīng)的氧氣分析儀成為關(guān)注的焦點(diǎn)。
一、無(wú)氧烘箱在半導(dǎo)體加工中的應(yīng)用
BCB高溫?zé)o氧烘箱主要用于半導(dǎo)體材料的固化、電子元器件的高溫潔凈環(huán)境干燥老化試驗(yàn)等。這類(lèi)烘箱的特點(diǎn)在于其高溫、無(wú)氧的環(huán)境,能夠滿(mǎn)足現(xiàn)代半導(dǎo)體加工對(duì)于材料處理的高標(biāo)準(zhǔn)要求。BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀
為了維持這一無(wú)氧環(huán)境,烘箱內(nèi)部充入惰性氣體(如氮?dú)饣蚨趸迹耘懦鯕?。然而,僅僅依靠充入惰性氣體還不夠,還需要對(duì)氧濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
二、氧氣分析儀在無(wú)氧烘箱中的應(yīng)用
為了確保無(wú)氧烘箱的工作效果和**性,需要配備高精度的氧氣分析儀。這種分析儀能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)烘箱內(nèi)的氧氣濃度,確保其始終維持在安 全范圍內(nèi)。
ADEV氧氣分析儀是專(zhuān)門(mén)為這類(lèi)應(yīng)用設(shè)計(jì)的。它采用快速響應(yīng)的氧化鋯傳感器,可以測(cè)量從1ppm到25%的氧氣濃度。這種分析儀不僅精度高、響應(yīng)速度快,而且維護(hù)成本低,為無(wú)氧烘箱提供了可靠的氧氣濃度監(jiān)控解決方案。
三、氧氣分析儀的特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀
ADEV氧氣分析儀具備以下特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
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測(cè)量范圍廣泛:可測(cè)量從1ppm到25%的氧氣濃度,滿(mǎn)足各種應(yīng)用需求。
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可靠的氧化鋯傳感器技術(shù):能夠在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作,確保測(cè)量準(zhǔn)確性。
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快速響應(yīng):能夠迅速感知氧氣濃度的變化,及時(shí)作出反應(yīng)。
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多樣化的安裝方式:支持導(dǎo)軌式安裝,方便集成到無(wú)氧烘箱中。
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多種輸出方式:提供4-20mA信號(hào)輸出、RS-232通訊協(xié)議等多種輸出方式,方便與其他設(shè)備連接。
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報(bào)警功能:具備3組繼電器報(bào)警,可自定義報(bào)警閾值,提高安 全性。
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耐高溫設(shè)計(jì):能夠在高達(dá)600℃的高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作,適應(yīng)無(wú)氧烘箱的惡劣環(huán)境。
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維護(hù)簡(jiǎn)便:由于其高精度和穩(wěn)定性,使得校準(zhǔn)頻率大大降低,從而節(jié)省了維護(hù)成本。
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小巧緊湊:適合空間有限的安裝環(huán)境。BCB高溫?zé)o氧烘箱與氧氣分析儀
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長(zhǎng)壽命與低能耗:降低了運(yùn)營(yíng)成本并有利于環(huán)保。
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適用范圍廣:除了無(wú)氧烘箱外,還可應(yīng)用于手套箱吹掃和泄露檢測(cè)、3D金屬打印、波峰焊、氣體分離等多種場(chǎng)景。
總結(jié):隨著國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)于烘箱工藝的品質(zhì)要求也日益嚴(yán)格。BCB高溫?zé)o氧烘箱與相應(yīng)的氧氣分析儀成為實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)烘箱工藝的關(guān)鍵。ADEV氧氣分析儀作為一種高精度、快速響應(yīng)的分析儀,能夠?yàn)闊o(wú)氧烘箱提供可靠的氧氣濃度監(jiān)控,確保烘箱工藝的**與穩(wěn)定。它的應(yīng)用將有助于提高國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體加工的品質(zhì)和可靠性,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。