在氣體工業(yè)中，純度是衡量氣體質量的關鍵指標。氬氣，作為一種惰性氣體，廣泛應用于單晶與多晶體的制造過程中，作為保護氣體使用。為了提升硅晶體的品質，選用高純度氬氣顯得尤為重要，這不僅能延長晶體的使用壽命，還能更好地滿足市場需求。
氬氣的純化過程通常通過專門的凈化裝置實現(xiàn)，主要方法包括直接脫氧法和吸氣劑純化法。
1. 直接脫氧法氬氣純化的兩種方法及ADEV G9600微量氧分析儀應用
直接脫氧法利用活性金屬或催化劑與氬氣中的氧氣發(fā)生化學反應，從而有效去除氧氣。同時，通過分子篩的吸附作用，進一步去除氬氣中的水分，確保氬氣的含水量低于1ppm。這種方法簡單直接，能有效提升氬氣的純度。
2. 吸氣劑純化法
吸氣劑純化法則采用特定的吸氣凈化劑或干燥劑，這些物質能與氬氣中的微量雜質形成穩(wěn)定的化合物，從而實現(xiàn)深度凈化。經過吸氣劑純化法處理的氬氣，其純度可達到極高的6N（即99.9999%）級別。盡管該方法在設備投資上相對較大，但由于其高提純效果，已在工業(yè)領域得到廣泛應用。
在氬氣純化過程中，ADEV G9600微量氧分析儀憑借其**的氧氣濃度檢測能力，發(fā)揮著至關重要的作用。該分析儀采用先進的電鍍傳感器技術，能夠在低至100ppb的極低濃度范圍內實現(xiàn)高精度檢測，確保了數(shù)據(jù)的準確性和可靠性。
技術亮點：
技術參數(shù)：
綜上所述，ADEV G9600微量氧分析儀在氬氣純化過程中發(fā)揮著不可或缺的作用，為提升氬氣純度、保障產品質量提供了強有力的技術支持。
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