六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
六氟丁二烯作為一種在半導體制造領域備受青睞的特種氣體，尤其在干法蝕刻工藝中展現出了**的性能。其高刻蝕速率、均勻的蝕刻效果以及出色的刻蝕選擇比，使其成為該工藝中的佼佼者。此外，與其他氟化物相比，六氟丁二烯的全球變暖潛能值（GWP）極低，幾乎可以忽略不計，這使其在環(huán)保方面具有顯著優(yōu)勢。在半導體制造的多個關鍵環(huán)節(jié)，如晶圓刻蝕、金屬蝕刻以及氧化物蝕刻等，六氟丁二烯均得到了廣泛應用，展現了其作為環(huán)保高效特種氣體的獨特價值。
測量六氟丁二烯氣體的微量氟化氫氣體該如何測量呢?這里我們給大家介紹一款ADEV激光HF氣體分析儀.
AtLAS 激光氣體分析儀六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
AtLAS 激光氣體分析儀基于可調諧激光吸收光譜技術（TDLAS）原理進行測量，獲取待測氣體特征吸收的光譜譜線。半導體激光器發(fā)射出特定波長的激光束（僅能被被測氣體吸收），穿過被測氣體時，激光強度的衰減與被測氣體的濃度成一定的凼數關系，從而進行的定量分析。
AtLAS 激光氣體分析儀采用 19 英寸標準機箱，將微控制器與數字化處理技術相結合，具有完整的自我診斷功能。
技術原理：六氟丁二烯氣體環(huán)保高效的半導體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
利用電流和溫度**調制激光器（可調諧）波長， 可以掃描被測氣體的特
產品特點：
定吸收峰｛無背景氣體吸收）， 得到該氣體吸收的二次諧波，利用二次諧波及該
?
可靠性和穩(wěn)定性好；
氣體的展寬信息，可計算出該氣體的濃度。
采用“單線光譜”技術，測量不受背景氣體交叉干擾；
TDLAS 技術通過激光波長掃描技術修正了粉塵和視窗污染對測量的
影響；
完善的自診斷功能；
視窗表面覆蓋一塊鋼化玱璃，增強觸摸屏的撞擊保護；
采用 7 寸彩色觸摸屏，顯示直觀，操作方便。
應用領域：
化工、焦化、制藥、冶金、環(huán)保、食品等發(fā)酵過程監(jiān)測，生物反應器，堆肥處理，自動惰封系統(tǒng)，離心機，沼氣/填埋氣體中CH4 濃度監(jiān)測。
技術指標：
測量范圍
0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
線性誤差
±2%FS
重復性
±1%FS
穩(wěn)定性
±1%FS/半年
響應時間
T90 小于 10s
校準周期
1 年（建議）
顯示器
7 寸彩色觸摸屏
氣路接口
G1/4＂-Φ6 快擰接頭（可以定制）
接線方式
接線端子
傳感器壽命
大于 2 年（正常使用）
儀器壽命
大于 5 年（正常使用）
供電電源
85～264VAC，50/60Hz
儀器功耗
＜20VA
環(huán)境溫度
-10～+50℃
環(huán)境濕度
小于 90%RH
進氣壓力
常壓±10%（出氣口應為大氣壓）
進氣流量
1～3L/min
通訊
RS485（標配）/RS232（選配）
Modbus RTU 協議
數量：1 組
模擬信號
輸出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持軟
件切換
負載：小于 500Ω
開關量信號
報警點：1 個
繼電器觸點容量：24VDC，0.2A
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主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀, 便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀，離心機氧分析儀|GE流量計 氧量分析儀 氮氣氧分析儀fei 代表處,辦事處,分公司,子公司,總代理,分析儀價格,分析儀維修,分析儀校準
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