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產(chǎn)品資料

氣體質量流量控制器

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產(chǎn)品名稱: 氣體質量流量控制器
產(chǎn)品型號: SFC5000
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

SFC5000系列氣體質量流量控制器產(chǎn)品描述 Sensirion公司SFC5000系列氣體質量流量控制器有助于實現(xiàn)寬動態(tài)測量范圍內(nèi)極其**和可重復的控制。氣體質量流量控制器的出色性能基于Sensirion**的CMOSens?技術，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號處理電路。在芯片上，傳感器信號被直接轉換成完全校準，帶溫度補償?shù)臄?shù)字信號。該質量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外，它們實現(xiàn)了新的可選功能，如多氣體測量、氣體識別和自檢能力。SFC5000系列氣體質量流量控制器是整個工業(yè)和醫(yī)療市場各種應用的理想解決方案。


氣體質量流量控制器  的詳細介紹

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SFC5000系列氣體質量流量控制器有助于實現(xiàn)寬動態(tài)測量范圍內(nèi)極其**和可重復的控制。氣體質量流量控制器的出色性能基于Sensirion**的CMOSens®技術，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號處理電路。在芯片上，傳感器信號被直接轉換成完全校準，帶溫度補償?shù)臄?shù)字信號。該質量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外，它們實現(xiàn)了新的可選功能，如多氣體測量、氣體識別和自檢能力。SFC5000系列氣體質量流量控制器是整個工業(yè)和醫(yī)療市場各種應用的理想解決方案。

 

SFC5000系列氣體質量流量控制器特性

  • 高精度和可重復性

  • 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性

  • 寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）

  • 超快氣體流量控制（穩(wěn)定時間小于50毫秒）

  • 多氣體、多量程可選和氣體識別功能

  • 數(shù)字和模擬接口

  • 靈活的機械接頭選項：鈑金式安裝、VCR和VCO，Swagelok、C-/W-Seal等。

  • 校準可追溯至NIST標準

  • 源于**CMOSens® 技術的杰出價值

  • 可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品


SFC5000系列氣體質量流量控制器應用領域

  • 分析儀器（如氣相色譜、質譜）

  • 醫(yī)療設備（如呼吸機、麻醉）

  • 工業(yè)過程自動化（如涂層、熱處理）

  • 半導體行業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）

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