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產(chǎn)品資料

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表

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產(chǎn)品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
產(chǎn)品型號: shibaura GPW
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
該產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5 x 10 -2 Pa的很大范圍。
此外，該真空計消除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示，并縮小到小的必要功能，從而實現(xiàn)了“成本降低"和“節(jié)省空間"。


日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表  的詳細介紹

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表


 

GPW系列的特點

  • 廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量
  • 節(jié)省布線：通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)節(jié)省布線，節(jié)省空間和節(jié)電。
  • 視野更佳：配備了可以檢查異常的LED
  • 一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式大氣壓調(diào)節(jié)和零點調(diào)節(jié)
  • 可維護性：易于更換測針
  • 燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料使用具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑。
  • 測量值輸出信號：壓力為0至10V的對數(shù)輸出是標準設(shè)備
  • 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表改善的抗沖擊性：具有出色抗沖擊性的設(shè)計結(jié)構(gòu)
  • 控制輸出信號：可以輸出2個設(shè)定點（GPW-1）
  • 串行通訊規(guī)格：可以進行RS-232C / RS-485通訊（僅GPW-2）
  • 符合標準：符合CE標準

用

  • 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
  • 用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
  • 用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進行過程控制，例如在線型和單晶片型

日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表規(guī)范

模型 GPW-1 GPW-2
可連接的手寫筆 一
自適應(yīng)手寫筆 SWP-16（NW-16）
測量壓力范圍 5.0 x 10 -2至1.0 x 10 5 Pa
測量精度* 1×10 -1?1 ××10 4 Pa：±10％
5.0×10 -2?1.0 ×10 -1 Pa，1×10 4 Pa?1×10 5 Pa：±20％
重復性 1×10 -1 Pa?1×10 4 Pa：±2％
采樣時間 50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出   輸出電壓DC 0-10 V
壓力指示（對數(shù)輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位
更新時間 50毫秒
控制輸入信號 集電極開路輸入，負邏輯
ADJ調(diào)整（零點調(diào)整，大氣壓調(diào)整） 		---
控制輸出信號 集電極開路輸出
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表負邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW]
錯誤信號
設(shè)定點1、2 		---
監(jiān)控設(shè)定值 設(shè)定點1，2：0至10 V日志輸出 ---
串行通訊規(guī)格 --- RS232C / RS485
LED顯示屏 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈
SET-1：設(shè)定點1 LED 
SET-2：設(shè)定點2 LED 		---
燈絲材料 鉑
工作溫度極限 10-40℃
工作濕度范圍 15-80％（但是，不結(jié)露）
IP防護等級 IP30（傳感器單元）
安裝姿勢 沒有限制
電源電壓 DC 18 V至30 V，2 W（電源打開時為4.8 W）
輸入/輸出連接器 D-sub15針（M2.6螺釘）
大眾 150克（含SWP-16）
外形尺寸（電源）W xD x H（mm） 70 x 46 x 28
符合標準 CE認證

*大氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。

外形尺寸

外形尺寸

單位：mm 
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。

 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表

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