產(chǎn)品資料

首頁 >>> 產(chǎn)品目錄 >>> 埃登威旗下直采網(wǎng)公司產(chǎn)品 >>> 日本進(jìn)口工業(yè)設(shè)備儀器儀表日本輸入工業(yè)設(shè)備計(jì)器

日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501

點(diǎn)擊看大圖

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以

產(chǎn)品名稱: 日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品展商: 其它品牌

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

靈活的常壓CVD系統(tǒng)，適用于小規(guī)模生產(chǎn)和開發(fā)D501型間歇式常壓CVD系統(tǒng)，用于將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501特征這是一種間歇式常壓CVD系統(tǒng)，其中將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中，托盤在分散頭下來回移動(dòng)以形成薄膜。可以處理不規(guī)則的基材。它具有緊湊的設(shè)備尺寸和較小的占用空間。性能涂層厚度均勻性取決于膜類型和厚度支持的晶圓尺寸符合可加熱區(qū)氣體種類SiH

日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501 的詳細(xì)介紹

靈活的常壓CVD系統(tǒng)，適用于小規(guī)模生產(chǎn)和開發(fā)

D501型

間歇式常壓CVD系統(tǒng)，用于將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中

日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501

特征

這是一種間歇式常壓CVD系統(tǒng)，其中將多個(gè)晶圓裝入一個(gè)大托盤中，托盤在分散頭下來回移動(dòng)以形成薄膜。
可以處理不規(guī)則的基材。
它具有緊湊的設(shè)備尺寸和較小的占用空間。

性能

涂層厚度均勻性	取決于膜類型和厚度
支持的晶圓尺寸	符合可加熱區(qū)
氣體種類	SiH4、O2、PH3、B2H6、N2（TEOS、TEB、TMOP、O3、TMA可選）
沉積溫度	350°C~450°C
生產(chǎn)力	-

主要技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備尺寸	1200mm（寬） x 2480mm（深） x 1940mm（高）
加熱機(jī)制	電阻加熱
裝卸	手動(dòng)方式
分散頭（氣體噴嘴）	A63 頭

產(chǎn)品留言

標(biāo)題

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

內(nèi)容

驗(yàn)證碼

點(diǎn)擊換一張

注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!

相關(guān)產(chǎn)品

日本太陽科學(xué)304-AW密封強(qiáng)度測(cè)試儀 SUN SCIENTIFIC總代理是哪家

日本SUN-SCIENFITIC破裂強(qiáng)度測(cè)試儀305-BP 太陽科學(xué)儀器總代理是哪家

太陽科學(xué)FKT-100J密封破裂強(qiáng)度測(cè)試儀 SUN SCIENTIFIC公司介紹

日本SUN SCIENFITIC物性測(cè)定儀 SD-700II

日本太陽科學(xué)質(zhì)構(gòu)儀CR-100 株式會(huì)社サン科學(xué)

產(chǎn)品分類

聯(lián)系我們

埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

聯(lián)系人：劉工可直接加微信在線交流18939876302
聯(lián)系電話：021-55581219菲美特微量氧分析儀POA200
傳真號(hào)碼：021-55581219菲美特露點(diǎn)儀DPT600Plus
移動(dòng)電話：18939876302加別猶豫,微信同號(hào)

Email：adevchina@126.com

公司網(wǎng)址：m.photolibs.com

公司地址：上海市普陀區(qū)中山北路1759弄浦發(fā)廣場(chǎng)D座1714室激光氧分析儀

日本AMAYA天谷制作所 常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501

D501型

特征

性能

主要技術(shù)指標(biāo)

日本AMAYA天谷制作所常壓CVD半導(dǎo)體晶圓設(shè)備D501