日本AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率常壓CVD 8英寸AMAX800V

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產(chǎn)品名稱: 日本AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率常壓CVD 8英寸AMAX800V

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簡單介紹

高生產(chǎn)率常壓CVD系統(tǒng)，實現(xiàn)**的連續(xù)運行AMAX800V8 英寸高吞吐量，每小時 100 張使用SiC托盤的重金屬污染對策和長期穩(wěn)定的工藝提高可維護性特征通過改進(jìn)運輸機制實現(xiàn)了高吞吐量。SiH4、PH3、B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合，經(jīng)過優(yōu)化，在低溫低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。可獲得優(yōu)良的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。碳化硅托盤的使用使重金屬污染難以發(fā)生。此外，由于受熱引起的老

日本AMAYA天谷制作所高生產(chǎn)率常壓CVD 8英寸AMAX800V 的詳細(xì)介紹

高生產(chǎn)率常壓CVD系統(tǒng)，實現(xiàn)**的連續(xù)運行

通過改進(jìn)運輸機制實現(xiàn)了高吞吐量。
SiH4、PH3、B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合，經(jīng)過優(yōu)化，在低溫低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。可獲得優(yōu)良的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。
碳化硅托盤的使用使重金屬污染難以發(fā)生。此外，由于受熱引起的老化很少，可以獲得穩(wěn)定的工藝性能。
標(biāo)配自動托盤更換功能，確保工人**，減少維護時間。此外，自動升高頭底座的機制使其易于清潔。