日本KOFLOC小島-壓力調(diào)節(jié)閥 MODEL 6610 SERIES
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日本KOFLOC小島-壓力調(diào)節(jié)閥 MODEL 6610 SERIES
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日本KOFLOC小島-壓力調(diào)節(jié)閥 MODEL 6610 SERIES低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器勵(lì)調(diào)節(jié)閥MODEL 6610 SERIES與MODEL6600相比。新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好。能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。本產(chǎn)品*適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導(dǎo)體制造設(shè)備。具有低壓側(cè)高精度控制的特性將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對(duì)于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變
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日本KOFLOC小島-壓力調(diào)節(jié)閥 MODEL 6610 SERIES
低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器勵(lì)調(diào)節(jié)閥
MODEL 6610 SERIES
與MODEL6600相比。新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好。能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。
本產(chǎn)品*適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導(dǎo)體制造設(shè)備。
具有低壓側(cè)高精度控制的特性
將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對(duì)于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。
不使用潤(rùn)滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤(rùn)滑油，*適合需要保持純凈狀態(tài)的半導(dǎo)體領(lǐng)域等。
防松螺母結(jié)構(gòu)
通過(guò)防松螺母固定設(shè)定過(guò)一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設(shè)定發(fā)生變化。
不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會(huì)發(fā)生氣體外泄，請(qǐng)您放心使用。
用途
用于氣相色譜儀
用于高純度氣體控制
用于低壓控制設(shè)備
用于半導(dǎo)體領(lǐng)域等
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 流體 | 各種氣體 |
|---|
| 一次側(cè)*大壓力 | 0.4MPa |
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| 二次側(cè)控制壓力 | 0.01?0.15MPa |
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| *大流量 | 5L/MIN |
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| *小工作壓差 | 0.1MPa以上 |
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| 耐壓力 | 0.8MPa |
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| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的±1％范圍內(nèi) |
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| 環(huán)境溫度 | 5?60℃ |
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| 接口 | Rc1/8 |
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| 流體接觸部分材質(zhì) | SUS316、氟橡膠、硬質(zhì)玻璃
氟樹脂、SUS304、SUS303 |
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流量特性
