日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-250C SERIES
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日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-250C SERIES
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日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-250C SERIES數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-250C SERIESDF- 250系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器， 可在1秒內(nèi)(所有區(qū)域)實(shí)現(xiàn)低于50 SLM的響應(yīng)。該系列提供高達(dá)500 SLM的高流顯系列。DF350DF300DF550DF200標(biāo)準(zhǔn)氣體用真實(shí)氣體校準(zhǔn)~50 SLM在整個(gè)區(qū)域內(nèi)1秒內(nèi)快速響應(yīng)從10SCCM到
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日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-250C SERIES
數(shù)字質(zhì)量流量控制器
MODEL DF-250C SERIES
DF- 250系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器， 可在1秒內(nèi)(所有區(qū)域)實(shí)現(xiàn)低于50 SLM的響應(yīng)。
該系列提供高達(dá)500 SLM的高流顯系列。
DF350
DF300
DF550
DF200
標(biāo)準(zhǔn)氣體用真實(shí)氣體校準(zhǔn)
~50 SLM在整個(gè)區(qū)域內(nèi)1秒內(nèi)快速響應(yīng)
從10SCCM到500SLM的陣容
標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
RoHS。符合CE標(biāo)準(zhǔn)
DF-250C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） |
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| 目標(biāo)氣體（* 1） | N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未描述的氣體是N2當(dāng)量校準(zhǔn)） | 空氣，N2 |
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| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM到10 SLM | 20至50 SLM
（二氧化碳：20至30 SLM） | 100,150 SLM | 200,300 SLM | 400,500 SLM（* 3） |
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| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） |
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| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍在1秒內(nèi)
（wihtin±2％F。S.） | 1.5秒或更短
10％或更少是3秒或更短
（在±2％F。內(nèi)） | 2秒或更短（±2％FS內(nèi)） |
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| L：50.149kPa H：150.300kPa | L：150.249kPa H：250.350kPa | L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa |
| 精度（* 4） | ±1.0%F.S. | ±2.0%F.S. |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. | ±0.5%F.S. |
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| 工作壓差（* 5） | 50至300千帕
（Ar，CO2：100至300 kPa） | 100至300千帕
（Ar，CO 2：150至300 kPa） | 150至350千帕 | 200 SLM：200至350 kPa
300 SLM：250至350 kPa | 400 SLM：200至350 kPa
500 SLM：250至350 kPa |
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| *大入口壓力 | 500kPa(G) |
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| 耐壓 | 980kPa(G) |
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| He泄漏率（* 6） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | 1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下 |
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| 溫度 | 工作溫度 | 5～50℃ |
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| 精度保證溫度 | 15～35℃ |
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| 允許儲(chǔ)存溫度 | -10～60℃ |
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| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） |
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| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM |
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| 電氣連接 | D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），
RJ-45模塊化插孔x 2 | D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），
HR-10A×2 |
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| 流量設(shè)定信號(hào) | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） |
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| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上） |
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| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：*多99（9600 bps） |
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| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，
-15 VDC（±5％）：150 mA | +15 VDC（±5％）：150 mA，
-15VDC（±5％）：250mA | 24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub） |
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| 接頭（* 7） | 1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4 | 1/2 SW（標(biāo)準(zhǔn)），3/4 SW |
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| 安裝姿勢(shì) | 推薦水平方向 |
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| 重量（* 8） | 約850g | 約1000g | 約2250g | 約3500g |
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（* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。
（* 2）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下轉(zhuǎn)換為質(zhì)量流量cc / min和L / min的值。
（* 3）工作壓力范圍內(nèi)的輸出流量為1％或更低。
（* 4）流量范圍的精度（*大滿量程）。
（* 5）工作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 6）不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa·m3 / sec以下。
（* 7）如需其他接頭，請(qǐng)另行詢問。
（* 8）沒有配件的重量。
（* 9）300 SLM，500 SLM將為L(zhǎng)：250。299 kPa。
尺寸圖
（* 8）對(duì)于50 SLM或更低，請(qǐng)參考DF-200C尺寸。
