日本KOFLOC小島-**質(zhì)量流量計(jì) MODEL 3100 SERIES

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產(chǎn)品名稱: 日本KOFLOC小島-**質(zhì)量流量計(jì) MODEL 3100 SERIES

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簡單介紹

日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量計(jì) MODEL 3100 SERIESMODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發(fā)的用于高精度流顯測量的新型質(zhì)量流星計(jì)。這種型號采用新型低壓力毛細(xì)管流縣傳感器，可確保高速響應(yīng)和長期穩(wěn)定性。配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）尺寸圖標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）1

日本KOFLOC小島-**質(zhì)量流量計(jì) MODEL 3100 SERIES 的詳細(xì)介紹

日本KOFLOC小島-**質(zhì)量流量計(jì) MODEL 3100 SERIES

MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發(fā)的用于高精度流顯測量的新型質(zhì)量流星計(jì)。

這種**型號采用新型低壓力毛細(xì)管流縣傳感器，可確保高速響應(yīng)和長期穩(wěn)定性。

配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項(xiàng)）

圖片關(guān)鍵詞

尺寸圖

圖片關(guān)鍵詞

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	1SCCM~20SLM（可選）
傳感器方式	熱繞組傳感器
響應(yīng)速度	1秒內(nèi)
準(zhǔn)確性	±1％FS（15~35°C）
再現(xiàn)性	在±0.2％FS（20°C）內(nèi)
耐壓	980kPa（G）
He泄漏率（* 1）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	0~50℃
允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料	車身SUS316L
氣體接觸材料	密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets）
電氣連接	Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量輸出信號	0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA
接頭（體型）	標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量	約800g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

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