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產(chǎn)品資料

日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量計 MODEL 5410 SERIES

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產(chǎn)品名稱: 日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量計 MODEL 5410 SERIES
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: 其它品牌
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簡單介紹

日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量計 MODEL 5410 SERIES低成本金屬密封質(zhì)量流顯計|MODEL 5410 SERIES5410型是一種質(zhì)量流量計,具有進一步改進的基本性能。雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動方法3得到改進，以減少委漂移。它是一一種通過金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，井增加了切口接頭。提高每個流量范圍的精度適用于微流量（選項規(guī)格）由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低


日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量計 MODEL 5410 SERIES  的詳細介紹

日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量計 MODEL 5410 SERIES

低成本金屬密封質(zhì)量流顯計|

MODEL 5410 SERIES

5410型是一種質(zhì)量流量計,具有進一步改進的基本性能。

雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動方法3得到改進，以減少委漂移。

它是一一種通過金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，井增加了切口接頭。

  • 提高每個流量范圍的精度

  • 適用于微流量（選項規(guī)格）

  • 由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低

  • 價格便宜

圖片關(guān)鍵詞

標準規(guī)格

流量范圍
（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式熱繞組傳感器
準確性±1％F.S.（20°C）
溫度系數(shù)0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性±0.2%F.S.（20°C）內(nèi)
可工作壓力300kPa（G）以下
耐壓980kPa（G）
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度0~50℃（精度保證溫度15.35°C±0.1％FS /°C）
允許環(huán)境濕度10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料車身SUS316L
隔膜Ni.Co
閥座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
電氣連接Dsub 9針KFC　標準（符合SEMI標準）
流量設(shè)定
輸入信號		0~5 VDC（*小負載電阻250kΩ以上）
所需電源+15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA
配件（車身尺寸）標準1/4 VCR等效
重量約800g


警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
有關(guān)MFC規(guī)格，請單獨查詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標準引腳排列


尺寸圖


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