日本KOFLOC小島-液體專用流量控制器 FCL-200
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日本KOFLOC小島-液體專用流量控制器 FCL-200
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簡單介紹
日本KOFLOC小島-液體專用流量控制器 FCL-200液體專用流量控制器FCL .-200FCL -200是一款專為控制液體流顯而研發(fā)的液體流縣控制器， 接液部分均采用聚四氟2烯材質，*適合用于純水條件下半導體工藝流程中流體的控制以及醫(yī)藥、食品相關方面的液體控制等。接液部分均采用聚四氟乙烯材質，可將純凈的流體控制在一定流量范圍內采用專用新型閥門結構，幾乎不會產生粒子高溫型*高可在80℃下進行控制
日本KOFLOC小島-液體專用流量控制器 FCL-200 的詳細介紹
日本KOFLOC小島-液體專用流量控制器 FCL-200
液體專用流量控制器
FCL .-200
FCL -200是一款專為控制液體流顯而研發(fā)的液體流縣控制器， 接液部分均采用聚四氟2烯材質，*適合用于純
水條件下半導體工藝流程中流體的控制以及醫(yī)藥、食品相關方面的液體控制等。
標準規(guī)格
| 使用流體 | 水、純水、超純水（其他液體請咨詢） |
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| 流量范圍 | 0.4～2.0L/min（工作壓差150kPa以上） |
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| 允許工作流體溫度 | 10～35℃（常溫）（可選：10～80℃） |
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| 測定精度 | ±1%F.S.（at25℃純水校準） |
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| 重現(xiàn)性 | ±0.7%F.S.（at25℃純水校準） |
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| 響應速度 | 閥門關閉→100%F.S.：2秒以內、100%F.S.→閥門關閉：2秒以內（at25℃純水，壓差＝150kPa條件下） |
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| 接液部分材質 | PTTA,PFA |
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| 供應壓力 | 0.15～0.35MPa（泵脈動±50kPa以下） |
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| 耐壓 | 0.6MPa（at25℃） |
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| 工藝連接件 | 3/8英寸（φ9.52×6.35）
日本支柱工業(yè)SUPER 300 Ptype接頭 |
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| 專用電源電纜長度 | 3m |
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| 電纜外皮 | PVC |
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| 結構 | 與IP64同等（電裝部分） |
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| 閥門結構 | 常開型 |
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| 允許周圍溫度 | 0?50℃ |
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| 環(huán)境濕度 | 10～85%RH（無結露） |
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| 安裝方向 | 自由（建議水平設置） |
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| 重量 | 約1.3kg |
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注意
本產品無法斷開。
如需斷開請在前端安裝斷開專用閥門。
請在本機前端安裝過濾器等，避免混入異物。
使用流體中混入的氣泡量超過5%時，輸出流量精度可能會出現(xiàn)異常，請注意。
本規(guī)格可能會在未經通知的情況下發(fā)生變更。
電氣規(guī)格
| 測定方式 | 卡門旋渦式 |
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| 輸入信號 | 4-20mA（0-2L/min） |
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| 輸出信號 | 4-20mA（0-2L/min） |
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| 電源 | DC24V±5% |
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| 電源電壓波動 | ±10%以內 |
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| 消耗電流 | 約200mA |
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| 通信功能（可選） | RS232C（電纜3m） |
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外形圖
使用示例
