日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES
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日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES
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簡單介紹
日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES它是種數(shù)字質(zhì)量流雖設(shè)備,通過標(biāo)準(zhǔn)通信功能(RS 485)實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng),同時(shí)結(jié)構(gòu)緊湊,采用高速繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。EX-700EX-550小型質(zhì)量流量裝置（W76 x D30 x H76）高速應(yīng)答及出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性□0-5V或4-20mA輸入
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日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES
它是種數(shù)字質(zhì)量流雖設(shè)備,通過標(biāo)準(zhǔn)通信功能(RS 485)實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng),同時(shí)結(jié)構(gòu)緊湊,采用高速
繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。
EX-700
EX-550
小型質(zhì)量流量裝置（W76 x D30 x H76）
高速應(yīng)答及出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性
□0-5V或4-20mA輸入/輸出信號(hào)，電源
可從±15 V或24 V單電源選擇
電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān)，可以使用主機(jī)中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計(jì)算出的值
標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
符合RoHS?CE標(biāo)準(zhǔn)
EX-250S標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 形式 | 質(zhì)量流量控制器
EX-250SC | 質(zhì)量流量計(jì)
EX-250SM |
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| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉） | – |
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| 目標(biāo)氣體（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未列出的氣體換算成N2） |
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| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~5 SLM |
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| 控制范圍（測量范圍） | 2~100％（F.S.） |
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| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍在1sec內(nèi)（within±2%F.S.） |
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| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – |
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. |
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| 工作壓差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – |
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| *大入口壓力 | 500kPa（G） |
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| 耐壓 | 980kPa（G） |
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| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 |
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| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ |
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| 精度保證溫度 | 15～35℃ |
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| 允許儲(chǔ)存溫度 | -10～60℃ |
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| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） |
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| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼（* 6），PTFE，F(xiàn)KM |
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| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
HR-10A |
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| 流量設(shè)定輸入信號(hào) | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ）
Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω） | – |
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| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上）
or 4~20mA（負(fù)載電阻500Ω以下） |
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| 數(shù)字通信 | 通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址 |
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| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下
or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下） |
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| 接頭（* 7） | 1/4F900（標(biāo)準(zhǔn)） |
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| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 |
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| 重量（* 8） | 約500g | 約440g |
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（* 1）干燥氣體，不含腐蝕性成分和灰塵，霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量單位SCCM、SLM是將質(zhì)量流量換算成0℃、1atm狀態(tài)下的體積流量cc/min、L/min值。
（* 3）流量范圍（*大滿量程）的精度。
（* 4）工作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 5）不含滲透。長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 6）質(zhì)量流量計(jì)不使用磁性不銹鋼。
（* 7）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 8）重量不含接頭。
