日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES
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日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES
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簡單介紹
日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIESDF-350系列是款數(shù)字質(zhì)量流量控制器, 以DF. 250系列50 SLM以下規(guī)格為基準(zhǔn)，與DC24V電源兼容。DF300DF550DF200DF25050SML以下的規(guī)格高速響應(yīng)（全范圍1秒內(nèi)）10SCCM~50SLM序列標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）支持RoHS.CE規(guī)格
日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES 的詳細(xì)介紹
日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器 DF300DF550DF200DF250 MODEL DF-350C SERIES
DF-350系列是款數(shù)字質(zhì)量流量控制器, 以DF. 250系列50 SLM以下規(guī)格為基準(zhǔn)，與DC24V電源兼容。
DF300
DF550
DF200
DF250
DF-350C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時關(guān)閉） |
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| 目標(biāo)氣體（* 1） | N2，空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未記載的氣體換算成N2進行校正） |
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| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | 20~50SLM
（CO2：20~30 SLM） |
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| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） |
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| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2％F.S.) |
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| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa |
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. |
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| 動作壓差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100~300 kPa） | 100~300 kPa（Ar，CO2：150~300 kPa） |
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| *大入口壓力 | 500kPa(G) |
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| 耐壓 | 980kPa(G) |
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| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 |
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| 溫度 | 使用溫度 | 5～50℃ |
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| 精度保證溫度 | 15～35℃ |
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| 允許儲存溫度 | -10～60℃ |
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| 允許工作濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） |
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| 氣體接觸材料 | SUS316、SUS316L、磁性不銹鋼、Ni、PTFE、PCTFE、FKM |
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| 電氣連接 | D-sub 15引腳 公頭 高密度型，HR-10A×2 |
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| 流量設(shè)定信號 | 0~5 VDC（輸入電阻：約1MΩ）or4～20mA（輸入電阻:約250Ω） |
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| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負(fù)載電阻：10kΩ以上)or4～20mA（負(fù)載電阻:500Ω以下) |
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| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設(shè)置地址：*多99臺（9600 bps） |
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| 活動輸入 | 接點輸入×3個（非絕緣） |
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| 活動輸出 | NPN開路集電極×3個（非絕緣，*大額定值35 V，50 mA） |
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| 所需電源（DC） | + 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub） |
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| 接頭（* 6） | 1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4 |
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| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 |
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| 重量（* 9） | 約950g | 約1100g |
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（* 1）應(yīng)為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
（* 3）對于流量范圍（*大滿量程）的精度。
（* 4）操作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 5）不包括滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 6）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 7）不含接頭的重量。
