日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES
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日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES
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簡單介紹
日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES**金屬密封質(zhì)量流量控制器MODEL 5100 S ERIES5100系列是-款質(zhì)量流量控制器， 它實(shí)現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格)，金屆密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝氣體控制所需的+1 %精度。板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辦率，可以處理1 sccm (N2) 的微流量。通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器
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日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES
**金屬密封質(zhì)量流量控制器
MODEL 5100 S ERIES
5100系列是-款質(zhì)量流量控制器， 它實(shí)現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格)，金屆密封的基本性能，以及半導(dǎo)體工藝
氣體控制所需的+1 %精度。
板載傳感器的響應(yīng)能力。它具有出色的分辦率，可以處理1 sccm (N2) 的微流量。
通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實(shí)現(xiàn)高精度，高速傳感器響應(yīng)
采用電磁鐵電磁閥常閉閥
由于無焊接結(jié)構(gòu)（VCR規(guī)格），金屬密封，泄漏低
采用隔膜閥，減少死體積
面對(duì)面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
流量范圍
（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） |
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| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉） |
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| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） |
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| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi)（±2％F.S.內(nèi)） |
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| 準(zhǔn)確性 | ±1％F.S. |
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| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. |
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| 操作壓差范圍 | F.S.≤5SLM50. 300kPa |
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| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa |
| 選項(xiàng)：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 |
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 |
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| 耐壓 | 980kPa（G） |
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| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3/s以下 |
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| 允許周圍溫度 | 0~50℃ |
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| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） |
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| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L |
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| 隔膜SUS316L |
| 閥座PTFE |
| 密封材料SUS316L，Ni，Au |
| 選項(xiàng)：SUS密封（SU），內(nèi)部磨削規(guī)格（KP） |
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC 標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） |
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流量設(shè)定
輸入信號(hào) | 0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上） |
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| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） |
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| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）200 mA |
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| 配件（車身尺寸） | 標(biāo)準(zhǔn)1/4 VCR等效選項(xiàng)1/4 SWL |
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| 重量 | 約1000g |
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警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級(jí)側(cè)小于300kPa，次級(jí)側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請(qǐng)另行咨詢。
接線連接
Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)引腳排列
